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OPTM series 嵌入型

簡要描述:利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點,在線提供制作晶片圖案后的微小區域測量等膜厚信息。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-12-19
  • 訪  問  量:162

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詳細介紹

品牌OTSUKA/日本大塚

產品信息

 特 點

●膜厚測量范圍1nm~92μm(換算為SiO2)

●膜厚值高重復精度

●1點1秒以內的高速測量

●最小小點Φ3μm)中瞄準模式

●最zui適shi合圖案晶片的膜厚映射

●能夠取得圖案對準用圖像

 

裝置組裝示意圖

OPTM series 嵌入型

 

測量數據示意圖

OPTM series 嵌入型

 

測量光點周邊圖像

OPTM series 嵌入型

 

適應過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等

式樣

OPTM series 嵌入型







上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統。經過多年的發展,上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業內具有較高的知zhi名度和美譽度,客戶遍布全國。我們將繼續努力,不斷提升市場地位和影響力。

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