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嵌入式膜厚檢測儀

簡要描述:● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(專zhuan利 第4834847號)

● 使用光學光纖,可靈活構筑測量系統

● 可嵌入至各種制造設備。

● 實時測量膜厚

● 可對應遠程操作、多點測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-12-19
  • 訪  問  量:227

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詳細介紹

品牌OTSUKA/日本大塚

產品信息

測量項目

多層膜厚解析

用 途

光學薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)

FPD相關(光刻膠、SOI、SiO2等)

設備構成

單點型

嵌入式膜厚檢測儀

半導體晶圓的面內分布測量

玻璃基板的面內分布測量

多點型

嵌入式膜厚檢測儀

實時測量

流向品質管理

真空室適用

導線型

嵌入式膜厚檢測儀

實時測量

寬度方向品質管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

嵌入式膜厚檢測儀







上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統。經過多年的發展,上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業內具有較高的知zhi名度和美譽度,客戶遍布全國。我們將繼續努力,不斷提升市場地位和影響力。


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