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利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點,在線提供制作晶片圖案后的微小區域測量等膜厚信息。
●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成 ●實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊 ●支持半導體工藝的高吞吐量要求 ●支持槽口對齊功能 ●小尺寸規格 ●高精度自動校準單元
半導體晶圓缺陷檢測儀利用亮場和暗場顯微成像技術,通過自動化的圖像捕捉以及人工智能分析工具,為晶圓表面缺陷的檢測提供了快速且高效的解決方案。
ZETA電位 · 粒徑 · 分子量測試系統可測量濃度低的溶液~濃度高的溶液的ZETA電位?粒徑及分子量。
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